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Types And Sources Of Contamination 污染元素:











                                              » Equipment 設備



                                              » Environment 環境



                                              » People 人



                                              » Chemicals 化學藥品




                                              » Process, Incoming Parts,
                                                    Materials…
                                                      製造過程、零件、材料


















                    Volatile Organic Contaminants
                         揮發性有機污染物                            Airborne Molecular Contaminants     ESD  防靜電
                                                                    氣態分子污染物



                           Nonvolatile Residue
                            沒有發揮的殘留物
                                                            Micro-organisms
                                         Adsorbed Molecules     微生物                 Visible Particles   Metals
            Fibers  纖維                         吸附分子                     Ions  離子                         金屬
                         Submicron  Particles




                                                                  表面









                                                           72
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