Page 70 - 2025中文型錄

CLEAN In EFFICIENCY

工業進階級半自動清洗機 MYFC S500 可洗淨各式物件, 如 FOUP, FOSB, SMIF, 或各種載具, 零
件以降低汙染及濕度,擁有業界最高效率,最小占地, 並配有純水加熱清洗/氮氣/CDA乾燥/IR乾燥
功能的離心力式清洗機.

產品特色 不銹鋼體

Ø 單雙開門設計(可客製) 剛性佳

Ø 機台內環境 Class 100
陶瓷軸承 高效幫浦
Ø 可同時放八個 FOUP/FOSB
不生鏽 超耐用
Ø 客製化治具應付多樣洗物

Ø 可使用客供清潔劑清洗
Ø 機台尺寸W/L/H 1.7mx1.7mx2.5m

高速旋轉 配方多樣
震動低 彈性佳

導入CDA

加速吹乾

先進的 MYFC 1500 全自動300 mm FOUP / FOSB 清洗機，以最高的產量和最小的佔地面積清
洗物件以減少污染和降低濕度。首創的機器人自動自潔功能可保持最佳清潔環境，避免二次
汙染。
產品特色

Ø 六軸機械手臂
Ø 機台內環境 ISO Class 1

Ø 同時洗淨 Lid 及 Shell
Ø 機械手臂自潔功能

Ø 彈性 Loadport 設計

Ø 符合 SECS/GEM 標準
Ø 提供最佳洗烘及真空艙體

Ø 機台尺寸W/L/H : 3mx3mx3.45m

Automatic Clean Total Automatic
Expert Solutions

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