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Critical Environment Bench-top Blower
先進製程專用離子風機
Product code : DYEQ02-91-5802i (FMS)
提供製程/機台內 ESD Class 0 防護專用離子風機
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潔淨等級符合 ISO class 4 ( FS209E Class 10)環境使用
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具有警報監測機制(可監控);針尖自動清潔功能
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提供最佳化之 +/- 3V Ion Balance voltage
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FMS : FMS model,FMS 功能及選配 close-loop 效能控制
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Critical Environment Bench-top Blower
先進製程專用離子風機
Product code : DYEQ02-91-5832
提供製程/機台內 ESD Class 0 防護專用離子風機
●
潔淨等級符合 ISO class 4 ( FS209E Class 10)環境使用
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具有警報監測機制(可監控);針尖自動清潔功能
●
提供最佳化之 +/- 3V Ion Balance voltage
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可選配獨立安裝 Antenna 或搭配 NOVX 進行 close-loop 效能控制
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小型化,更適用於機台內部安裝(18.5Hx13Wx7.0D cm)
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Critical Environment Bench-top Blower
先進製程專用離子風機
Product code : DYEQ02-91-5822i
提供製程機台內 ESD Class 0 防護專用離子風機
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靜電敏感製程環境中,卓越穩定平衡電壓及靜電消除能力
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具有 LED Alarm 顯示,提供離子風扇失效警訊 (可監控)
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小尺寸,輕巧易於安裝 (11.5 x 8.3 x 6.1 cm)
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General Electronics Benchtop Blower
先進製程專用離子風機
Product code :DYEQ02-91-6832
小型化,更適用於機台內部安裝(18.6Hx13Wx6.0D cm)
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消除靜電的能力 : ±1000V to ±100V, 2.0 sec @ 1 ft
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內建針尖清潔組件,方便手動清潔針尖
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4 段風量可調整
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潔淨等級符合 ISO class 4 ( FS209E Class 10)環境使用
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