Page 34 - 2025中文型錄

Critical Environment Overhead Blower
先進製程專用吊頂式離子風機 NEW

Product code : DYEQ02-91-5842
● 長度應用 : 2 Fans(81.3)/ 3 Fans (106.7)/4 Fans(132.1) cm (32”/42”/52”)
● 自動清潔靜電針尖組，和鎖定功能避免擅自調整效能及風速

● 可提供 alarm 監控功能 ESD
● 敏感區域最佳效果可達 +/- 1 V balance voltage(搭配 NOVX Feedback System)
● 多段風速選擇可依製成需求應用
● FMS : FMS model，FMS 功能及選配 close-loop 效能控制
● A model :內建 NOVX feedback system

● N model :搭配 NOVX 3352/3362 feedback system

Critical Environment Overhead Blower
先進製程專用吊頂式離子風機
Product code : DYEQ02-91-5810i (FMS)
● 長度應用 : 81.3/101.6/111.8 cm (32”/40”/44”)

● ESD 敏感區域最佳效果可達 +/- 1 V balance voltage
● 自動清潔靜電針尖組，和鎖定功能避免擅自調整效能及風速
● 可提供 alarm 監控功能
● FMS : FMS model，FMS 功能及選配 close-loop 效能控制

Aerostat® FPD Overhead Blower
Aerostat® FPD 吊頂式離子風機
Product code : DYEQ09-4011005

● 長度應用 : 2-fan :59 cm，3-fan :90 cm，4-fan : 121.5 cm
● 提供快速消除靜電的能力 : ±1000V to ±100V，1 sec @ 1 ft
● LED 燈號顯示工作狀態

● 交流型(AC)，提供平衡工作電壓至 +/- 10V

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