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Modulated Pulse AeroBar
                  設備吹氣式靜電消除器(可搭配 Sensor 回饋控制)                                                    NEW
                  Product code : DYEQ02-91-5645 (A/N)
          ●    離子棒長度應用 : 35/45/60/85/100/115/130/145/160/175/190/205/220/235cm

          ●    低電壓+/- 5V 回饋控制(搭配 Sensor 或 NOVX feedback system)
          ●    完整結合感應回饋機制奈米級(ISO Class 1)先進製程使用
          ●    可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
          ●    提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
          ●    A model :內建 NOVX feedback system
          ●    N model :搭配 NOVX 3352/3362 feedback system





                  Modulated Pulse AeroBar
                  設備吹氣式靜電消除器
                  Product code : DYEQ02-91-5635 (M)
                  Product code : DYEQ02-91-5630

          ●    離子棒長度應用 : 35/45/60/85/100/115/130/145/160/175/190/205/220/235cm
          ●    完整結合感應回饋機制奈米級(ISO Class 1)先進製程使用
          ●    可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
          ●    提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
          ●    M model : Metal free 非金屬材質之接地護板





                  μWire AeroBar
                  設備吹氣式靜電消除器
                  Product code : DYEQ02-91-5710
                  Product code : DYEQ02-91-5711

          ●    獨特放電絲設計
          ●    俱有顯而易見的較長清潔週期及簡易而快速保養流程
          ●    Micro Pulse 高壓電源技術

          ●    提供更均勻及長時間穩定的平衡電壓





                  Digital AeroBar
                  設備靜電消除器
                  Product code : DYEQ02-91-5225 (S)
          ●    離子棒長度應用 : 56.9/72.1/90.7/112.8/141.2/163.6/191.8/214.4 cm
          ●    完整結合感應回饋機制奈米級先進製程使用;個別離子棒參數調整功能

          ●    可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
          ●    提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
          ●    S model : Standalone,單一經濟型




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