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Modulated Pulse AeroBar
設備吹氣式靜電消除器(可搭配 Sensor 回饋控制) NEW
Product code : DYEQ02-91-5645 (A/N)
● 離子棒長度應用 : 35/45/60/85/100/115/130/145/160/175/190/205/220/235cm
● 低電壓+/- 5V 回饋控制(搭配 Sensor 或 NOVX feedback system)
● 完整結合感應回饋機制奈米級(ISO Class 1)先進製程使用
● 可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
● 提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
● A model :內建 NOVX feedback system
● N model :搭配 NOVX 3352/3362 feedback system
Modulated Pulse AeroBar
設備吹氣式靜電消除器
Product code : DYEQ02-91-5635 (M)
Product code : DYEQ02-91-5630
● 離子棒長度應用 : 35/45/60/85/100/115/130/145/160/175/190/205/220/235cm
● 完整結合感應回饋機制奈米級(ISO Class 1)先進製程使用
● 可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
● 提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
● M model : Metal free 非金屬材質之接地護板
μWire AeroBar
設備吹氣式靜電消除器
Product code : DYEQ02-91-5710
Product code : DYEQ02-91-5711
● 獨特放電絲設計
● 俱有顯而易見的較長清潔週期及簡易而快速保養流程
● Micro Pulse 高壓電源技術
● 提供更均勻及長時間穩定的平衡電壓
Digital AeroBar
設備靜電消除器
Product code : DYEQ02-91-5225 (S)
● 離子棒長度應用 : 56.9/72.1/90.7/112.8/141.2/163.6/191.8/214.4 cm
● 完整結合感應回饋機制奈米級先進製程使用;個別離子棒參數調整功能
● 可與機台資訊整合以及單晶矽針尖應用
● 提供警報(alarm)機制,並支持遠端 FMS 監測功能
● S model : Standalone,單一經濟型
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