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EUV E-Reticle TM
EUV E-Reticle 光罩 ESD 追蹤設備
● 生產線上測量在環境的電場
● 單次充電可長達 6 小時測試時間
● 可兼容 ASML, NIKON, CANON 曝光設備之光罩負載介面
● 設備及光罩尺寸符合 SEMI P1-1101 要求
● 應用於不同環境，提供 2 種規格，真空版本、濕製程版本
E-Panel TM
E-Panel FPD ESD 追蹤設備
● 應用於面板廠生產線上測量環境的電場
● 單次充電可達 2 小時測試時間
● 可依面板大小擴充 sensor
● 8 個感應 sensor 感測不同位置靜電場變化
● 可於濕製程&真空環境使用
● 厚度 : <1.65mm / 長度 : 178mm x 1000mm / 重量 : 80g
● 偵測電廠區間 : ±15KV (±2%)
● 使用溫度 : -5℃ to +65℃
● 防水等級 : IP66
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