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Critical Process Electrostatic Monitoring
                  靜電放電及磁場<EMI>監測裝置
                  Product code : DYEQ09-9960-7000
          ●    搭配軟體, 可做工作站上靜電放電(ESD event)的量測記錄與分析

          ●    根據 ESD event 及 EMI 數據以及判別機台內電場的影響分析
          ●    具擴充性強,可接 particle counter/sensor 及設備接地點之監控
          ●    可監控 Close-loop 靜電風扇






                   Active Detection System
                   主動式電場監測裝置
                   Product code :DYEQ09-9910-3362

          ●   主動式天線偵測環境電場的變化量及靜電消散的功能
          ●   機台內靜電消除裝置之靜電消散(Decay)功能監控
          ●   具數據警報設定資料上傳電腦或機台監控功能
          ●   三組偵測天線, 可同時監測三個不同位置
          ●   可監控 Close-loop 靜電風扇






                  Passive Detection System
                  被動式電場監測裝置
                  Product code : DYEQ09-9910-3352

          ●    被動式天線偵測環境周遭電場電壓以及靜電消除器平衡電壓監控
          ●    機台內靜電消除裝置之離子平衡電壓監控
          ●    具數據警報設定資料上傳電腦或機台監控功能

          ●    三組偵測天線, 可同時監測三個不同位置
          ●    可監控 Close-loop 靜電風扇






                  MiniPulse ESD event Detector
                  (ESD)靜電放電檢測器
                  Product code : DYEQ09-9904-0002

          ●    製程線上即時 ESD event 偵測分析
          ●    依據靜電放電(ESD)強度，可調整警報強弱度;分析相關放電事件
          ●    只需 9VDC 電池即可操作，便攜式使用;使用方便性高
          ●    專為 CDM ESD 事件分析的工具






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